DISCO செதில் வெட்டும் இயந்திரம் DFL7341

DISCO DFL7341 லேசர் கண்ணுக்கு தெரியாத வெட்டும் இயந்திரம் பின்வரும் நன்மைகள் மற்றும் விவரக்குறிப்புகளைக் கொண்டுள்ளது:

நன்மைகள் குறைந்த சேதம், அதிக துல்லிய வெட்டு: DFL7341 சிலிக்கான் வேஃபருக்குள் மட்டும் மாற்றியமைக்கப்பட்ட அடுக்கை உருவாக்க லேசர் கண்ணுக்குத் தெரியாத வெட்டும் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது, செயலாக்க குப்பைகள் உருவாவதை அடக்குகிறது, மேலும் அதிக துகள் தேவைகளைக் கொண்ட மாதிரிகளுக்கு ஏற்றது. வெட்டும் பள்ளம் அகலம் மிகவும் குறுகியதாக இருக்கும், இது வெட்டும் பாதையைக் குறைக்கவும் வேஃபருக்கு ஏற்படும் சேதத்தைக் குறைக்கவும் உதவுகிறது.

உலர் செயலாக்க தொழில்நுட்பம்: இந்த உபகரணங்கள் உலர் செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகின்றன, உலர்த்துதல் மற்றும் சுத்தம் செய்தல், மேலும் சோர்வு எதிர்ப்பு குறைவாக உள்ள பொருட்களை செயலாக்க ஏற்றது.

திறமையான உற்பத்தி: LED சபையர், லித்தியம் டான்டலேட் மற்றும் மைக்ரோ-எலக்ட்ரோமெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ் (MEMS) போன்ற அதிக உற்பத்தித் தேவைகளைக் கொண்ட பயன்பாடுகளுக்கு DFL7341 பொருத்தமானது. அதன் ஸ்டீல்த் டைசிங்™ செயல்முறை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மற்றும் காலியம் நைட்ரைடு (GaN) போன்ற உடையக்கூடிய பொருட்களை வீணாக்காமல் வெட்ட அனுமதிக்கிறது.

பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகள்: இந்த உபகரணங்கள் சபையர், சிலிக்கான் கார்பைடு, அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட காலியம் (GaAs) போன்ற பல்வேறு பொருட்களுக்கு ஏற்றது, மேலும் உயர்தர செயலாக்க முடிவுகளை வழங்க முடியும்.

விவரக்குறிப்புகள் முக்கிய கூறுகள்: கேசட் லிஃப்ட், கன்வேயர், இலக்கு அமைப்பு, செயலாக்க அமைப்பு, இயக்க முறைமை, நிலை காட்டி, லேசர் இயந்திரம், குளிர்விப்பான் போன்றவை அடங்கும்.

துல்லிய குறிகாட்டிகள்: வேலை செய்யும் வட்டு துல்லியம்: X-அச்சு அச்சு துல்லியம் ≤0.002மிமீ/210மிமீ, Y-அச்சு அச்சு துல்லியம் ≤0. 003மிமீ/210மிமீ, Y-அச்சு நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் ≤0.002மிமீ/5மிமீ, Z-அச்சு நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் ≤0.001மிமீ

வெட்டும் வேகம்: X-அச்சு வெட்டும் வேகம் 1-1000 மிமீ/வி, Y-அச்சு பரிமாண தெளிவுத்திறன் 0.1 மைக்ரான், நகரும் வேகம் 200 மிமீ/வி, Z-அச்சு பரிமாண தெளிவுத்திறன் 0.1 மைக்ரான், நகரும் 50 மிமீ/வி

பொருந்தக்கூடிய பொருட்கள் மற்றும் தடிமன்: தூய சிலிக்கான் வேஃபர் மில்லிமீட்டர் வெட்டுதலை மட்டுமே ஆதரிக்கிறது, சிலிக்கான் வேஃபர் தடிமன் 0.1-0.7, தானிய அளவு 0.5 மிமீக்கு மேல். டைசிங் திரை விளிம்பு சுமார் ஒரு மைக்ரான் ஆகும், மேலும் வேஃபரின் மேற்பரப்பு மற்றும் பின்புறத்தில் குவிமாடம் விளிம்பு மற்றும் அசௌகரியம் இல்லை.